टंगस्टन फिलामेंट स्कॅनिंग इलेक्ट्रॉन मायक्रोस्कोप, इको. एसईएम, 15x ~ 250000x
उत्पादनाचे वर्णन
| ए 63.7062 टंगस्टन फिलामेंट इलेक्ट्रॉन मायक्रोस्कोप स्कॅन करीत आहे, इको. एसईएम | ||
| ठराव | 4.5nm@30KV (एसई); 6nm @ 30KV (बीएसई) | |
| भिंग | नकारात्मक भिंगः 15x ~ 250000x; स्क्रीन भिंग: 30x ~ 500000x | |
| इलेक्ट्रॉन गन | टंगस्टन हीटेड कॅथोड-प्री सेंटर्ड टंगस्टन फिलामेंट कार्ट्रिज | |
| गतिमान व्होल्टेज | 0 ~ 30 केव्ही | |
| लेन्स सिस्टम | थ्री-लेव्हल इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक लेन्स (टेपर्ड लेन्स) | |
| वस्तुनिष्ठ छिद्र | मोलिब्डेनम erपर्चर justडजेस्टेबल आउट व्हॅक्यूम सिस्टम | |
| नमुना स्टेज | पाच अक्ष स्टेज | |
| प्रवास श्रेणी | एक्स (ऑटो) | 0 ~ 50 मिमी |
| वाय (ऑटो) | 0 ~ 50 मिमी | |
| झेड (मॅन्युअल) | 0 ~ 25 मिमी | |
| आर (मॅन्युअल) | 360o | |
| टी (मॅन्युअल) | -5o ~ 90o | |
| कमाल नमुना व्यास | 150 मिमी | |
| डिटेक्टर | एसई: उच्च व्हॅक्यूम सेकंडरी इलेक्ट्रॉन डिटेक्टर (डिटेक्टर प्रोटेक्शनसह) | |
| बदल | स्टेज अपग्रेड; ईबीएल; एसटीएम; एएफएम; हीटिंग स्टेज; क्रायो स्टेज; टेन्सिल स्टेज; मायक्रो-नॅनो मॅनिपुलेटर; एसईएम + कोटिंग मशीन; एसईएम + लेझर | |
| अ‍ॅक्सेसरीज | सीसीडी, लाबी,, एक्स-रे डिटेक्टर (ईडीएस), ईबीएसडी, सीएल, डब्ल्यूडीएस, कोटिंग मशीन | |
| व्हॅक्यूम सिस्टम | टर्बो आण्विक पंप; रोटेशन पंप | |
| इलेक्ट्रॉन बीम करंट | 10 पीए ~ 0.1 |
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